随着半导体技术的电子技术工艺的发展，电子产品都往小型化，轻薄化发展。iWatch的一经推出，穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化，器件体积越做越小，空间就紧凑起来，这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管�?D的尺寸，现在需要管�?D的尺寸，而且精度要求都在微米级别，这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质、�/span>

卓立汉光�?D形貌测试仪应运而生，这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术，能够高精度还原产品的3D结构，对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度，微米级别的精度和超强的稳定性，一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铷�/span>仵�/span>�?/span>精密点胶�?D玻璃，半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测，就是这款产品的主要应用领域、�/span>

卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发�?D形貌测试仪就是常年实践积累的成果（利号：CN207556477U）。该项技术，具有以下优点９�/span>

技�?/span>	线性共焦光谱技�?/span>	点测技�?/span>	激光扫揎�/span>	3D相机
速度	1000 line/s	1000 point/s	1000 line/s	多角度拍照快
扫描宽度	6.5mm/20mm	炸�/span>	可逈�/span>	�?/span>
分辨玆�/span>	1um	1um	30um	100um
界面层数	多层	多层	表面	表面
建模	�?/span>	�?/span>	�?/span>	�?/span>
数据野�/span>	�?/span>	�?/span>	尐�/span>	尐�/span>

鹰眼系列3D形貌测试�?/strong>主要特点有：

1、非接触性测量；

2、线扫描，高效率：�/span>

3、微米级精度：�/span>

4、满足透明面及高对比度表面测试：�/span>

5、支持二次开发；

鹰眼系列3D形貌测试�?/strong>主要应用

1�?/span>精密部件3D尺寸及段差测试；

2�?/span>精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；

3�?D玻璃缺陷检测；

4、半导体表面缺陷测试：�/span>

5、多层薄膜厚度测试；

3D形貌测试仪产品型号及规格

	HawkEye-1300	HawkEye-5000
方式	共焦光谱	共焦光谱
精度	1um	8um
重复�?/span>	��0.3um	��4um
线扫宽度	6.5mm	20mm
Z轴量程范図�/span>	1.3mm	5mm
扫描速度	300line/s(Max:1000line/s)	300line/s(max:1000line/s)
重量	5Kg	8Kg
尺寸	460X300X140mm	460X300X140mm