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光学仪器及设夆/a>
光谱检测分析仪
DSR300系列微纳器件光谱响应度测试系绞/strong>是一款专用于低微材料光电测试的系统。其功能全面,提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描,光电流扫描以及光响应速率测试?0m探测光斑,实现百微米级探测器?对光谱祥响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试,丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源,例如超连续白光激光器,皮秒脉冲激光器,半导体激光器,卤素灯,氙灯等,满足不同探测器测试功能的要求。是微纳器件研究的优选、/span>
功能9/span>
?光谱响应?/span>
?外量子效玆/span>
?单色先/span>/变功率IV:/span>
?不同辐照?/span>IT曲线(分辨率200ms(/span>
?不同偏压下的IT曲线
?LBIC,Mapping
?线性度测试
?响应速率测试
微纳器件光谱响应度测试系绞/strong>主要技术参?/span>
显微镜头 |
标配?0倍超长工作距离物镜, 工作距离大于17mm NA值:0.42 光谱范围?50-800nm 选配9/span> 1?0倍超长工作距离消色差物镜+/span> 工作距离大于17mm NA值:0.42 光谱范围?80-1800nm 2?5倍紫外物镜, 工作距离大于8.5mm NA值:0.32 光谱范围?50-700nm 3?0倍超长工作距离紫外物镜, 工作距离大于12mm NA值:0.42 光谱范围?40-500nm 4+/span>40倍反射式长工作距禺/span> 工作距离大于7.8mm NA值:0.5 光谱范围?00nm-20um 光斑中心空心 |
光源 |
选配光源 1、半导体激光器 波长?05nm?32nm?33nm?08nm?80nm可逈/span> 不稳定性:?% 2、皮秒脉冲激光器 波长?75nm?05nm?88nm?85nm?76nm可逈/span> 脉宽?00ps 频率?-20M Hz 3、氙灯光溏/span> 光谱范围?50nm-1800nm 不稳定性:?% 4、超连续白光激光光溏/span> 光谱范围?00-2400nm 频率?.01MHz-200MHz 脉宽?00ps |
光谱?/span> |
焦距?00mm:/span> 相对孔径:f/3.9:/span> 光学结构:C-T:/span> 光谱仪分辨率?.1nm:/span> 倒线色散?.7nm:/span> 波长准确度:0.2nm 波长重复性:0.1nm 扫描步距?.005nm 狭缝规格:圆孔抽拉式固定狭缝,孔径:0.2mm?.5mm?mm?.5mm?mm?.5mm?mm:/span> 三光栅塔台; 光栅配置?-120-300?-060-500?-030-1250,光栅尺寸:6868mm 6档自动滤光片轮,光谱范围200-2000nm:/span> 内置电动机械快门,软件控制快门开关; 杂散光抑制比?0-5 |
探针台配?/span> |
4个探针座,配20/10微米针尖探针 2米三同轴电缆,漏电流小于1pA、/span> 真空吸附样品台、/span> 探针座:XYZ方?2mm调节行程?.75um调节分辨率+/span> 0-30调节探针角度、/span> |
LBIC Maapping |
XY方向行程50mm,分辨率5um、/span> |
数釆 |
v锁相放大?/span> 斩波频率?0Hz~1KHz:/span> 频率6位显示,2.4英寸屏,320240液晶显示:/span> 电压输入模式:单端输入或差分输入:/span> 电压、电流两种输入模式; 满量程灵敏度?nV?V:/span> 电流输入增益?06?08V/A:/span> 动态储备:?00dB:/span> 时间常数范围?0s?ks:/span> vkeithley2612B 量程9/span>100nA/1A *小信叶/span>9/span>1nA 本地噪音?00pa 分辨玆/span>9/span>100fa 通道?/span>? vkeithley2636B 量程9/span>1nA/1A *小信叶/span>9/span>10pA 本地噪音?pa 分辨玆/span>9/span>10fa 通道?/span>? |
制冷样品?/span> |
温度范围?196?600℃,?196℃需要选择专用冷却系统(/span> 全程温度精度/温度性:0.1??.01ℂ/span> 光孔直径?.4mm 样品区域面积:直?2mm 两个样品探针?个LEMO接头(可增加?探针(/span> 工作距离?.5-12.5mm 气密样品腔室,可充入保护性气佒/span> 独立温度控制 |
响应速率测试 |
示波器型号:MDO32 模拟带宽100MHz 采样?GS/s 记录长度10M 时间范围:uS-S,需要配合调制激光器使用 时间范围?0nS-S,需要配合皮秒脉冲激光器使用 |
三维可调高稳定探针台结构,方便样品位置调节、/span>
内置三路半导体激光器或者两路光纤激光器,外置一路激光光路、/span>
可以引入可调单色光源,进行全光谱范围的光谱响应度测试、/span>
测试功能曲线9/span>
40um光斑@550nm@50倍物?00um光纤 70um光斑@550nm@50倍物?00um光纤
5um光斑@375nm皮秒激光器@40倍物镛/span>
紫外增强氙灯咋/span>EQ99光源的单色光能量曲线,使?0倍反射式物镜?00mm焦距光谱仪,光谱仪使?200刻线300nm闪耀光栅,光斑直径大?0um、/span>
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