型号

ZGR-6

ZGR-12

ZGR-16

ZGR-26

坩埚名义容量＇�/span>kg（�/span>

6

12

16

26

中频

电源

中频(kW（�/span>

50

50

100

100

电压(V（�/span>

375

375

375

375

电炉

额定温度

1700ℂ�/span>

控温精度

��1ℂ�/span>

极限真空度（Pa（�/span>

6.5��10^-2

工作真空度（Pa（�/span>

6.5��10^-1

压升玆�/span>

2.0Pa/h

真空机组

冷却水耗量(m³/h)

0.6

0.6

1

1

扩散泵口徃�/span>(mm)

200

200

200

300

机械泵抽气速率(l/s)

15

15

15

30

电源

AC380V��10%�?0��0.5Hz三相五线刵�/span>

使用环境温度

5ℂ�/span>｝�/span>30ℂ�/span>、≤85RH

备注

1.以上数据均在环境温度25ℂ�/span>、工作室无负载条件下测得：�/span>

2.除以上所列规格外，可根据用户具体要求定做非标准产品、�/span>