石墨托盘

技�?/p>

1)用于LED外延片加工石墨顶松�

2)挡板结构内部晶片边缘休息;

3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关糺�

4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环、�/p>

功能

1)较低的热膨胀系数

2)thermak导电性更奼�/p>

3)稳定的化学perfermance

4)更好的耐蚀�?/p>

5)较强的导电�?/p>

规范

数量单位

体积密度1.85�?立方厘米

比电�?1 - 14 uΩm

抗压强度90 mpa

挠曲强度40 mpa

肖氏硬度60

灰分500 ppm

平均粒度20 um

膨胀系数4.5 gte

弹性模�?1平均绩点