编号：CPJS01486
篇名：CaO-B_2O_3-SiO_2系LTCC基板材料的制备及烧结
作者：龙承毅； 张树人； 周晓华； 李波；
关键词：CaO-B2O3-SiO2； LTCC； 玻璃陶瓷；
机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；
摘要：通过高温熔融法制备的CaO-B2O3-SiO2(CBS)系玻璃粉体(A料)与固相合成法制备的CaO-B2O3-SiO2-Al2O3粉体(B料)按照质量比7:3混合,烧结制备CBS系LTCC材料,研究不同烧结温度对材料性能的影响。结果表明:在850℃下烧结的CBS玻璃陶瓷致密性好,x-y方向收缩率为15.16%,密度为2.642g/cm3,εr=5.99(1MHz),tanδ<3.93×10-4(1MHz),抗弯强度σ=165MPa,具有良好的综合性能,可用作LTCC基板材料。
