Dy掺杂对ZnSe薄膜微结构的影响

编号：FTJS03111

篇名：Dy掺杂对ZnSe薄膜微结构的影响

作者：吴蓉； 李蓉萍； 何志刚； 安晓晖； 李忠贤；

关键词：ZnSe薄膜； 微结构； 真空蒸发； 掺杂；

机构：内蒙古大学物理科学与技术学院内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室；

摘要：利用真空蒸发的方法制备ZnSe多晶薄膜,并采用双源法对薄膜进行了Dy的掺杂。用XRD、紫外可见分光光度仪对薄膜的性质进行了表征。结果表明,当Zn、Se原子配比为0.9∶1时可制备较理想的ZnSe多晶薄膜,稀土Dy掺杂并未改变样品的物相结构,但掺杂使薄膜的晶格常数及晶胞体积略有增大,还使得薄膜的晶粒尺寸及压应力变小,掺杂后薄膜的光透射性得到改善。