编号：FTJS02705
篇名：喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究
作者：李晶； 赵晓东； 李芝华； 任冬燕；
关键词：ITO靶材； 喷雾干燥； 冷等静压； 烧结；
机构：西南科技大学材料科学与工程学院； 中南大学材料科学与工程学院；
摘要：以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坯及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析。实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高。
