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非平衡磁控溅射技术在刀具涂层上的应用

编号:NMJS02452

篇名:非平衡磁控溅射技术在刀具涂层上的应用

作者:钟江泉; 周天勇; 刘成明;

关键词:磁控溅射; 干式切削; 梯度涂层;

机构:重庆市科学技术研究院硅酸盐研究所CMS工程中心;

摘要:文章通过对当前国内刀具涂层发展的简要介绍,对比国内当前普遍使用的各种CVD、PVD涂层功效,结合先进的非平衡磁控溅射设备,合理优化工艺参数,在低温条件下(小于350℃)成功地制备出纳米梯度刀具涂层。

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