编号：NMJS01798
篇名：双槽电沉积法制备Cu/Ag纳米多层膜制备及研究
作者：顾超； 朱宏喜； 任凤章； 王姗姗； 肖丽丽；
关键词：Cu/Ag多层膜； 双槽电沉积法； 显微组织； 显微硬度；
机构：河南科技大学材料科学与工程学院； 河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室；
摘要：双槽电沉积法制备了不同调制波长的Cu/Ag金属多层膜(Cu膜和Ag膜等厚),用扫描电子显微镜观察了多层膜的层状结构,并研究了不同调制波长下多层膜的显微硬度变化。结果表明:双槽电沉积法制备的Cu/Ag多层膜层状结构明显。当调制波长大于100 nm时,显微硬度随调制波长减小而增加;当小于100 nm时,硬度随调制波长减小而降低;调制波长为100 nm时,显微硬度取得最大值,为150HV。
