编号：NMJS01325
篇名：基于磁控溅射离子镀技术的不同晶态纯Cr薄膜微观组织结构研究
作者：李洪涛; 蒋百灵; 杨波; 曹政;
关键词：柱状晶; 等轴晶; 纳米晶; 非晶;
机构：西安理工大学材料科学与工程学院;
摘要：基于磁控溅射离子镀技术,制备了不同晶态结构的纯Cr薄膜,分析了电场环境对纯Cr薄膜晶态结构影响的客观规律;结合溅射原理和薄膜生长原理揭示了电场环境对纯Cr薄膜生长过程影响的内在机理;探讨了磁控溅射离子镀技术在工程材料的纳米化、非晶化进程中应有的功能,旨在为纳米材料的研发及其制备技术的创新提供参考依据。
