编号：FTJS01500
篇名：碳/碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究
作者：王世援; 韩焕鹏; 刘锋;
关键词：碳/碳复合材料; 直拉单晶炉; 热系统保温装置;
机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所;
摘要：介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异。通过在单晶炉上的实验应用,证明了碳/碳复合材料比石墨材料具有更好的实际应用效果,在直拉硅单晶领域具有很好的应用潜力。分析了碳/碳复合材料的一些不足,并提出了相应的解决方案。
