编号：FTJS01395
篇名：燃烧法合成Al掺杂β-SiC粉体的工艺参数对其介电性能的影响
作者：苏晓磊; 周万城; 徐洁; 李智敏; 王俊勃; 贺辛亥; 付翀; 张李峰;
关键词：燃烧合成法; 碳化硅; 介电性能;
机构：西安工程大学机电工程学院; 西北工业大学材料学院; 西安电子科技大学技术物理学院; 陕西电力科学研究院;
摘要：采用燃烧合成法,以硅粉和炭黑为原料,铝粉为掺杂剂,聚四氟乙烯为助燃剂,分别在不同坯体压力下制备成坯体,在0.1MPa的氮气气氛中合成Al掺杂β-SiC粉体。通过X射线衍射、扫描电镜和电子能谱对合成粉体的物相、微观结构及形貌进行了表征。同时在8.2～12.4GHz频率范围内进行了介电性能测试。结果表明随着坯体压力的增大,合成β-SiC粉体的晶格参数随之减小,且其介电性能随之降低。对合成机理和Al掺杂对SiC介电性能的影响进行了讨论。
