编号:NMJS09265
篇名:气相色谱法测定高纯六氟化钼中的微量杂质
作者:倪珊珊 申永明 吕舜 解晓虎 刘志阳 李冰
关键词:六氟化钼 气相色谱 氦离子化检测器 反吹
机构:中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
摘要:一种脉冲进样方法分析六氟化钼中痕量气态杂质的方法。采用放电氦离子化检测器气相谱仪,通过吹扫气路,实现了六氟化钼中痕量H2、N2、O2、CH4、CO、CF、CO2、N2O和SF6的分离与分析。