编号：FTJS10579
篇名：金刚石薄膜制备及加工技术研究进展
作者：王光祖 张相法 位星 王永凯 王大鹏
关键词：金刚石 薄膜 化学气相沉积 影响因素 研磨
机构：郑州磨料磨具磨削研究所 郑州中南杰特超硬材料有限公司
摘要：金刚石薄膜具有导热率高、弹性模量大、沉积速度快、化学稳定性好、耐腐蚀等优势,在工业废水处理、生物医学、光学涂层、电子电气、切削刀具等领域应用广泛。文章综述了在低微波功率下衬底的预处理方法、沉积气压、流量比等因素对化学气相沉积制备高质量的金刚石薄膜的影响,介绍了游离磨料研磨过程中驱动方式及工艺参数等对加工后工件的平面度和粗糙度的影响,并探讨了其他多种研磨方式来实现对多晶金刚石片均匀性研磨,为广大学者进一步研究及应用提供参考。
