编号：CYYJ03806
篇名：镍掺杂对FTO薄膜光电性能的影响及机理分析
作者：吴宝棋 张琴 刘起英 史国华 赵洪力
关键词：镍掺杂 FTO薄膜 气溶胶辅助化学气相沉积 电学性质 第一性原理
机构：燕山大学材料科学与工程学院亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 威海中玻新材料技术研发有限公司
摘要：本文以单丁基三氯化锡(MBTC)为锡源,氟化铵(NH4F)为氟源,甲醇为溶剂,六水合氯化镍(NiCl2·6H2O)为镍源,采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)制备了镍掺杂FTO薄膜。利用分光光度计、四探针电阻仪及霍尔效应测试仪对镍掺杂FTO薄膜的光学性能、电学性能进行表征和分析,并基于第一性原理对掺杂体系的电子结构进行了计算。结果表明,Ni掺杂的FTO薄膜为四方金红石结构,导电性能有所提高。当Ni/Sn为2%(原子数分数)时,品质因数ΦTC达到3×10-2Ω-1,电阻率ρ为3.79×10-4Ω·cm,可见光平均透过率约为80%,载流子浓度n为6.88×1020cm-3,迁移率μ为13.31 cm2·V-1·s-1。
