编号：NMJS08745
篇名：氮化铝陶瓷中氧质量分数及其分布的测定
作者：韩丽辉 张智睿 吴昊阳 秦明礼 陈学娟
关键词：氮化铝 氧分布 惰性熔融 红外吸收法
机构：北京科技大学冶金与生态工程学院 北京科技大学新材料技术研究院 北京科大分析检验中心有限公司
摘要：氮化铝陶瓷以其优异的导热性能成为集成电路、半导体及大功率器件的重要封装材料,然而杂质氧含量(质量分数)直接影响着氮化铝陶瓷的导热性能。准确测定氮化铝陶瓷内氧含量(质量分数)及其分布十分重要。在惰性熔融红外吸收法基础上,对氮化铝陶瓷中不同形式氧含量分析方法进行了研究。通过步进式升温模式对样品中的表面吸附氧、晶界氧和晶格氧的氧含量进行分开测定,探讨了坩埚、裕料的选择及测试过程对结果的影响,分析了石墨粉含量对晶界氧的释放作用,最终优化了升温程序、加粉顺序以及称样量。通过氮化铝陶瓷样品多次平行试验对测定方法的准确性进行了验证,实测晶界氧和晶格氧含量的相对标准偏差分别为4.5%、8.5%,能够满足相关科研要求。
