编号：CPJS00708
篇名：多孔氧化铝薄膜的制备
作者：卢云; 侯应应; 刘俊; 陈大凯; 于大蔚;
关键词：阳极氧化; 多孔三氧化二铝薄膜; 影响因素;
机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
摘要：研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素。采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜,此类氧化薄膜在经过后续的特殊处理后可以用于制备湿度传感器和AAO薄膜。
