编号：FTJS09058
篇名：双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘层制备
作者：孔全存 温杰超 牛献礼 田元波
关键词：微细电解加工 侧壁绝缘 双极性电泳 中空电极 高深宽比 微小孔
机构：北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京信息科技大学精密测量技术与仪器研究所
摘要：针对孔径(100~200)μm高深宽比微细孔电解加工中,电极侧壁绝缘层在电解液冲击和气泡撕裂中易损伤/脱落等问题,提出一种基于丙烯酸环氧树脂双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘制备工艺。通过工艺参数优化后,利用所制备的侧壁绝缘电极,开展加工对比实验,结果表明双极性电泳法所制备的侧壁绝缘层,具有较高的致密性、均匀性、耐久性和一致性,其性能符合微细电解加工对电极侧壁绝缘层的特殊要求。最后,在500μm厚304钢片上加工出入口约168.4μm、出口约165.8μm、锥度约为0.15°的高深宽比微细孔,其锥度降低了约60%以上,基本为直孔,可满足实际需求,进而验证了本方法的应用可行性。
