编号：CYYJ02650
篇名：LiTaO3/石英HAL声表谐振器基于膜厚的优化研究
作者：吴冉冉 史向龙 董加和 陈彦光 王晓彧 吴浩东 张晓东
关键词：异质声层状结构(HAL) 声表面波(SAW) 品质因数(Q) 高阻抗比 机电耦合系数
机构：南京大学声学研究所 北京航天微电科技有限公司 中国电子科技集团公司第二十六研究所 南京工业职业技术大学航空工程学院 苏州科技大学电子与信息工程学院
摘要：异质声层状结构(HAL)声表面波(SAW)谐振器的品质因数(Q)和阻抗比通过优化金属电极厚度得到了进一步提高。该文采用基于格林函数/有限元(FEM)/边界元(BEM)算法的多层结构SAW器件仿真软件建立了20°YX LT/40°Y90°X石英为基底,Cu作为金属电极的单端口HAL SAW谐振器模型。首先计算了位移场分布,分析了HAL中传播的声波模式。随后计算了LiTaO3(LT)厚度hLT=0.1λ~0.2λ(λ为波长),Cu电极厚度hCu=0.04λ~0.1λ下器件的伯德(Bode)-Q、机电耦合系数K2和阻抗比,研究了不同LT厚度下谐振器的Bode-Q、K2和阻抗比随电极厚度的变化。结果表明,当hLT=0.1λ~0.2λ时,最佳Cu电极厚度均为0.05λ,理想LT厚度下Bode-Q和阻抗比分别高达3000和98 dB。
