从多晶硅还原副产物回收六氯乙硅烷的工艺

编号：FTJS08839

篇名：从多晶硅还原副产物回收六氯乙硅烷的工艺

作者：明勇

关键词：Aspen plus 多晶硅 还原副产物 六氯乙硅烷 精馏 工艺

机构：四川永祥新能源有限公司

摘要：本文研究了改良西门子法多晶硅生产中从还原副产物回收六氯乙硅烷(Cl6Si2)的工艺。通过对还原副产物组分分析,并用Aspen plus结合副产物各组分的物性,利用精馏工艺对还原副产物进行分离,回收和提纯六氯乙硅烷(Cl6Si2)。并用灵敏度分析工具,得出流程中各精馏塔的最优设计和最优操作参数,优化后提纯的六氯乙硅烷(Cl6Si2)纯度达到99.98%,回收率98.2%。