籽晶类型对高效多晶硅铸锭质量的影响

编号：CYYJ02517

篇名：籽晶类型对高效多晶硅铸锭质量的影响

作者：刘世龙 周耐根 刘淑慧

关键词：籽晶 多晶硅 少子寿命 位错密度

机构：江苏美科硅能源有限公司 南昌大学材料科学与工程学院

摘要：在相同的炉台、坩埚和铸锭条件下,对比研究了半圆柱形致密原生多晶硅棒料和多晶硅颗粒料作为籽晶对高效多晶硅铸锭质量的影响。通过光致发光(PL)图、少数载流子寿命、化学金相腐蚀等方式分析了两种籽晶下铸锭的质量。结果表明:致密原生多晶硅棒料作为籽晶具有一定的形核优势,尾料底部没有空洞,晶粒垂直性、晶粒均匀性相对较好;少数载流子寿命图谱均匀性相对较好,平均少数载流子寿命高0.32μs,从多晶硅锭底部到头部的位错密度比多晶硅颗粒料作为籽晶时要低。