氮气流量对磁控溅射ZrN纳米涂层结构及硬度的影响

编号：NMJS00300

篇名：氮气流量对磁控溅射ZrN纳米涂层结构及硬度的影响

作者：黄若轩; 孙鹏; 朱芳萍; 祁正兵; 王周成;

关键词：氮化锆; 纳米涂层; 磁控溅射; 取向性; 硬度;

机构：厦门大学材料学院; 厦门大学化学化工学院;

摘要：利用磁控溅射方法,通过改变氮气流量制备出ZrN纳米涂层,研究了氮气流量对ZrN纳米涂层结构及硬度的影响,并采用表面轮廓仪、X射线衍射仪、扫描电镜及纳米压痕表征了ZrN纳米涂层的厚度、相结构、形貌及硬度.实验结果表明,随着氮气流量增加,涂层厚度减小,涂层择优取向由(111)变为(200),对应的截面形貌由柱状结构变为非柱状结构;传统的位错滑移机制不适用于ZrN纳米涂层的塑性变形,其硬度随择优取向和晶粒尺寸的增大而增加.