流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证

编号：CPJS00422

篇名：流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证

作者：王勇; 周俊; 汪新颜; 姚奎鸿;

关键词：流态床; CVD; 氮化硅; 硅烷; 热力学;

机构：浙江理工大学材料工程中心; 浙江理工大学图书馆;

摘要：分析了硅烷氨解法制备氮化硅超微粉的化学气相沉积(CVD)过程,讨论了制备氮化硅超微粉体的3个关键工艺要素,并采用立式双温区流态床实验装置实现氮化硅超微粉体的制备,获得粉体合成过程的一些关键控制参数。