编号：FTJS04082
篇名：Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究
作者：田士法； 毛昌辉； 张心强； 朱君； 崔航；
关键词：吸气剂； Ni保护层； 薄膜； 吸气性能；
机构：北京有色金属研究总院先进电子材料研究所；
摘要：采用磁控溅射的方法制备了带有Ni保护层和Zr-Co-Re(Re代表稀土元素)主体层的堆栈层薄膜吸气剂。通过X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜吸气剂内部O元素的含量分布,研究了薄膜吸气剂中Ni层的防氧化作用和机理。研究表明:(1)Ni/Zr-CoRe堆栈层薄膜吸气剂在160℃保温3h的条件下可以有效激活,并具有高于Zr-Co-Ni单层薄膜吸气剂的吸气性能;(2)Ni保护层降低了吸气剂的被氧化程度,促进了表面吸附的H2分子的解离和扩散。
