编号：NMJS03935
篇名：超薄AAO模板法辅助生长高密度有序金纳米点阵列
作者：杨 震1； 2； 张 璋1； 黄康荣1； 周青伟1； 刘利伟1；
关键词：金纳米点阵列； AAO模板； 热蒸镀； 二步氧化法；
机构：(1.华南师范大学华南先进光电子研究院,先进材料研究所,广东广州 510006； 2.华南师范大学物理与电信工程学院,广东广州 510006)；
摘要：在高真空状态下采用孔径为40nm的超薄阳极氧化铝(AAO)模板作为掩膜进行金的热蒸镀,制备了平均粒径为35.5nm、填充密度为1.45×1010cm-2的金纳米点阵列.探索了高密度有序纳米点阵列的制备工艺.通过扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对金纳米点阵列进行表面形貌表征,证明超薄 AAO模板法明显改善了金纳米点阵列分布的尺寸均匀度和有序度.
