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单晶及多晶硅切割废料中的高纯硅回收

编号:FTJS03488

篇名:单晶及多晶硅切割废料中的高纯硅回收

作者:郭菁; 邢鹏飞; 涂赣峰; 祁阳;

关键词:单晶硅; 多晶硅; 切割料浆; 碳化硅; 聚乙二醇; 高纯硅; 回收;

机构:东北大学材料与冶金学院; 东北大学理学院;

摘要:为提高在切割废料中高纯硅的回收率,对沉降方法和条件进行了优化.根据单/多晶硅切割废料浆的物理、化学性质,在m(水)∶m(聚乙二醇)=(8~9)∶1、含有少量无机盐的水溶液体系中,在不同沉降时间和不同固液配比的条件下进行正交试验,通过盐酸、氢氟酸进行除杂,最后在1 500~1 600℃下进行硅的铸锭.通过X射线衍射、元素分析和粒径分析研究沉降条件对于最终回收产物的影响.研究表明:在固液比为0.06、沉降时间5 h的条件下,沉降并经过除杂得到的微粉中硅质量分数达到88.52%,碳化硅质量分数为11.46%,富集的微粉经铸锭得到的硅锭纯度为98.71%,硅的回收率达到43.33%.

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