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天津中环电炉股份有限公司
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RTP-小型快速退火炉
产品应用９/strong>
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火?/p>
快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品特点９/strong>
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度?**升温速率50?s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作、/p>
产品名称 |
RTP-小型快速退火炉 |
产品型号 |
RTP-G11103-K |
额定功率 |
9KW |
额定电压 |
220AC 50/60Hz |
**温度 |
1000°C |
连续工作 |
950°C(<1 小时) |
加热区长?/p> |
300mm |
恒温区长?/p> |
100mm |
加热元件 |
红外灯管 |
温度控制 |
国产程序控温系统可编?0段程序控温； |
控制精度 |
±1ℂ/p> |
石英管尺寷/p> |
Φ110*380MM |
炉管材质 |
石英箠/p> |
滑动距离 |
355mm |
滑动方式 |
手动滑动 |
建议升温速度 |
室温900℃：30?sec |
外形尺寸 |
950 X 350 X 530 mm |
重量 |
45Kg |
标准配置 |
气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副?6MM的样品石英架一个、/p> |
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企业名称
天津中环电炉股份有限公司企业类型
信用代码
91120113700587236G法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
