CVD管式炉，气相沉积管式炈�/span>

本款CVD管式炉工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置。我们的CVD管式炉采用了先进的温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性� 主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产、�/p>

高温真空管式炉特炸�/strong>

• **温度９�/span>
  1200℃（HRE电阻丝加热）
  1400� （硅碳棒加热（�/span>
  1600� （硅钼棒加热（�/span>

• 智能�?1段可编程自动控制

• 双层风冷结构；炉壳表面温度低�?0ℂ�/span>

• 304不锈钢双层密封法�?/span>

• 两端可调节法兰支撑结构，延长炉管使用寿命

• 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断甴�/span>

• 安全保护当炉体漏电时自动断电

• 升温速率�?0 � /刅�/span>

• 控温精度±1 ℂ�/span>

• **真空�?0.08MPa

• 配置分子泵机组，真空度可�?×10^(-3)Pa

CVD管式炉配套设夆�/span>

多路气体控制柛�/span>

质量流量计配气柜

真空管式炉技术规栻�/strong>

⅟�/strong>. 技术参�?/strong>
**工作温度	1600� (<2小时)
温度仪表	� 人工智能PID仪表，自动控制温度。双向反并联可控硅调压，对电炉温度进行精准控制，并具有限流功能。防止供电电压不稳，电流突然过大引起跳闸，烧损电气元件等� ＇�strong style="box-sizing: border-box;">我公司采用的可控硅为国际优秀品牌：西门康（�br style="box-sizing: border-box;"/>� 51段编程曲线，根据预置程序自动升温、保温、降温。一键完成，无需工人值守、�br style="box-sizing: border-box;"/>� 内置控温参数自整定功能�? � 具有超温报警，热电偶断裂报警，并自动切断供电电源，提供可靠保护、�/td>
控温精度	±1ℂ�/td>
加热速率	0-20�?分钟
热电偵�/td>	B�?双铂�? ，热电偶保护管为纯度 99.7%的刚玉管
加热元件	高纯硅钼棑�/td>
普通真穹�/td>	-0.08MPa
高真穹�/td>	7×10^(-3)Pa （分子泵（�/td>
配套设配	气体混合控制柜，质子流量计，浮子流量讠�/td>
炉膛	三层全纤维炉衬，构成整个炉膛 � **屁� 1800型多晶氧化铝陶瓷纤维。保证炉膛足够的强度，又确保具有极好的隔热效果、�br style="box-sizing: border-box;"/>� 第二屁� 1430型多晶氧化铝陶瓷纤维、�br style="box-sizing: border-box;"/>� 第三屁� 保温棉若干、�/td>
炉壳结构	� 高强度碳钢制作而成，酸洗磷化除锈后，静电喷塑，美观大方、�br style="box-sizing: border-box;"/>� 双层风冷炉壳，内�?-4个散热风机，确保炉壳表面温度低于60�?
产品保修	1. 自验收之日起，高温箱式炉整机免费保修一年。如果设备出现问题，现场进行维修，终身提供技术支持！ 2. 超出保修期后，成本价提供配件、�/td>

1200� CVD管式炉标准尺寷�/strong>

型号	炉膛尺寸 （直径x加热区长度）	功率	** 温度	热电偵�/strong>	炉管	加热 元件
BR-12CNT-40/300	40x300mm	3 KW	1200ℂ�/td>	K垊�/td>	石英箠�/td>	电阻东�/td>
BR-12CNT-60/300	60x300mm	3 KW
BR-12CNT-80/300	80x300mm	5 KW
BR-12CNT-100/300	100x300mm	5 KW
BR-12CNT-120/300	120x300mm	6 KW
BR-12CNT-40/450	40x450mm	3 KW
BR-12CNT-60/450	60x450mm	3 KW
BR-12CNT-80/450	80x450mm	5 KW
BR-12CNT-100/450	100x450mm	5 KW
BR-12CNT-120/450	120x450mm	6 KW

1400� CVD管式炉标准尺寷�/strong>

型号	炉膛尺寸 （直径x加热区长度）	功率	** 温度	热电偵�/strong>	炉管	加热 元件
BR-14CST-40/300	40x300mm	4 KW	1400ℂ�/td>	S垊�/td>	氧化铝管	硅碳棑�/td>
BR-14CST-60/300	60x300mm	4 KW
BR-14CST-80/300	80x300mm	4 KW
BR-14CST-100/300	100x300mm	6 KW
BR-14CST-120/300	120x300mm	6 KW
BR-14CST-40/450	40x450mm	4 KW
BR-14CST-60/450	60x450mm	4 KW
BR-14CST-80/450	80x450mm	4 KW
BR-14CST-100/450	100x450mm	6 KW
BR-14CST-120/450	120x450mm	6 KW

1600� CVD管式炉标准尺寷�/strong>

型号	炉膛尺寸 （直径x加热区长度）	功率	** 温度	热电偵�/strong>	炉管	加热 元件
BR-16CMT-40/300	40x300mm	4 KW	1600ℂ�/td>	B垊�/td>	氧化铝管	硅钼棑�/td>
BR-16CMT-60/300	60x300mm	4 KW
BR-16CMT-80/300	80x300mm	4 KW
BR-16CMT-100/300	100x300mm	6 KW
BR-16CMT-120/300	120x300mm	6 KW
BR-16CMT-40/450	40x450mm	5 KW
BR-16CMT-60/450	60x450mm	5 KW
BR-16CMT-80/450	80x450mm	5 KW
BR-16CMT-100/450	100x450mm	7 KW
BR-16CMT-120/450	120x450mm	7 KW