德国Kleindiek微操纵仪

德国Kleindiek Nanotechnik超微操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达，因此�?*的特点是能够进行纳米级精确移动，在保证纳米级移动的同时其**的设计可以同时做到毫米级的移动范围，整个操纵装置全部由纳米马达驱动，从而保证了系统体积非常小，可以很容易地放入电子显微镜腔室内�

德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪有以下型号以适用于不同的环境�MM3A-LMP Micromanipulator for Light Microscopy

MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy

MM3A-UHV Micromanipulator for UHV

MM3A-LT Micromanipulator for low temperature

德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪MM3A-EM以其高精度、超灵活、易操作、小体积成为电子显微镜用户的得力助手，改变了电子显微镜只用于样品观察的传统，直接在样品室内操纵样品，由此衍生了许多丰富多彩的应用，使得对样品的研究更深一步。MM3A的移动范围是三维空间的，X、Y轴可�?#177;120��摆动，Z轴可�?2mm的伸长，整个空间的移动范围达�?00立方厘米。系统驱动全部由压电陶瓷来实现，由此保证了Z轴每个步进的精度可达0.5nm，当采用快速移动模式时，速度可达�?mm/s，可以说是同时兼具了高精度和高效率，**的大行程设计，使得Z轴总行程可达到12mm，纳米级的移动精度、厘米级的移动范围是MM3A�?*特点、�/span>

MM-3A-LS以其高稳定性、高精度、无漂移的鲜明特性，被广泛应用于生命科学领域的高灵敏膜电位测量领域。衍生产品MM3A-LMP与光学显微镜结合，被广泛应用于半导体的探针系统中，可适应45nm�?5nm�?0nm工艺的要求、�/span>

显微操纵仪的极细微的漂移都会影响到细胞膜电位的测量，这就要求显微操纵仪尽量能做到零漂移，德国Kleindiek Nanotechnik公司生产的MM3A很好地解决了漂移的问题，既使是长时间的测量也没有漂移的现象。MM3A体积相对传统的显微操纵仪而言小了很多，长度约60mm重约45g，这种设计保证了系统的稳定性并降低了系统噪音水平，震动几乎对MM3A不产生影响。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安装在载物台的任何地方。在操纵仪的前端有叉式的玻璃管夹持器，玻璃管的更换简单易操作、�/span>

MM3A-EM技术参数：

Length / Width / Height 60/22/25 mmOperating range XY / Z 240��/12 mmScan range X / Y / Z 20/15/1��mMax Speed XY / Z up to 10/ 2 mm/sResolution X 10-7 rad (5 nm)Resolution Y 10-7 rad (3.5 nm)Resolution Z 0.25 nmHysterisis deviation Z <200 nmHysterisis Angle (��) Z <10�� (0.2 rad)

Lowest temp 273KHighest temp 353KLowest pressure 10-7 mbarHolding force 1 NHolding torque 3 Nmm - 4 NmmLift Y 5gSignal resistance (probing) 7.0��Max voltage (probing) 100V ：�/span>Max current（probing�?00mA

德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪的突出特点：纳米操纵精确度：安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X，Y方向*小移动距离为5nm，在Z方向*小移动距离为0.5nm、�/span>

快慢可调的操作速度９�/span>可以选择一个步�?.5nm，也可以选择**移动速度1cm/S。MM3A将大范围和超精细操作**地结合在一起、�/span>

紧凑的结构设计：MM3A体积小，可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统�三维大空间操作范围：X、Y方向可以�?40度的旋转，Z轴方向做12mm的伸长，MM3A可操作的空间范围**�?00cm3、�/span>

几乎无漂移：我们曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放�?00K条件下每隔一分钟拍一张照片，持续一小时后通过对照片的分析得出，在排除电镜电压不稳定因素外，MM3A几乎不产生漂移、�/span>

与电镜的连接９�/span>MM3A安装在加工好的平台上，该平台再固定在电镜的样品台上，整个安放过程十分方便，几分钟就可完成，不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封，不会影响电镜的真空、�/span>