1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防� 、�/p>

2、采用SC1，SC2对芯片表面有机和无机物的有效处理工艺设备，可清洗4“，5”，6“硅片、�/p>

3、可设计手动全自动运行设计，全自动运行方式采用两只机械手运行，更有效提高效率降低成本、�/p>

4、清洗能力：4~6寸圆片，25�?�?扸�/p>

5、全方面的警报提示功能，防呆设计功能、�/p>

6、各工艺槽模组化设计，腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。腐蚀槽设计底部排风，降低排风量、�/p>