PicoFemto透射电镜原位MEMS低温电学测量系统，是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能、�/span>

性能指标

透射电子显微镜指标：

� 兼容指定型号电镜及极靴；

� 单倾可选高倾角版本：�/span>

� 可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于极靴）；

� 测量电极数可选、�/span>

电学测量指标９�/strong>

� 包含一个电流电压测试单元；

� 电压输出**±200 V�?小�?00 nV：�/span>

� 电流测量**±1.5 A�?�?00 fA：�/span>

� 恒压或者恒流模式；

� 自动电流-电压（I-V）测量、电�?时间（I-t）测量，自动保存、�/span>

低温指标９�/strong>

� 兼容MEMS加热及电学芯片；

� 全温区测量，温度范围�?5 K- 380 K：�/span>

� 控温稳定性：优于±0.1 K：�/span>

� 温度连续可控、�/span>