PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统，该产品是原位透射电子显微镜实验系统，使研穵�/span>

者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力、热、光、电等），从而对材料或耄�/span>

器件等样品实现多重激励下的原位表征�?nbsp;

性能指标

透射电镜指标９�/span>

� 兼容指定电镜型号及极靴；

� 可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；

电学测量指标９�/span>

� 包含一个电流电压测试单元；

� 电流测量范围：１ nA-30 mA�?个量程；

� 电流分辨率：优于100 fA：�/span>

� 电压输出范围：普通模式�?0 V，高压模式�?50 V：�/span>

� 自动电流-电压（I-V）测量、电�?时间（I-t）测量，自动保存、�/span>

扫描探针操纵指标９�/span>

� 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm：�/span>

� 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um：�/span>

� 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm、�/span>

光纤指标９�/span>

� 多模光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

� 可选光纤探针、平头光纤；

� 配备快速SMA接头、FC接头：�/span>

加热指标９�/span>

� 温度范围：室温到1000 ℃；

� 温度准确度优� 5% ：�/span>

� 温度稳定性：优于±0.1 ℃、�/span>

应用场景

可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加至多四种激励，实现多种复杂的测

试功能，完成以往无法实现的研究、�/span>

�?）高温拉�?压缩（加热芯�?电学STM探针）；

�?）热电子发射/场发射（加热芯片+电学STM探针）；

�?）三端器件测量（电学芯片+电学STM探针）；

�?）电致发光现象研究（电学芯片+光学STM探针）；

�?）光电现象研究（电学芯片+光学STM探针）、�/span>

产品特色

稳定性高

轻松获得大幅度运动中的高分辨像，适用于更广泛的应用场景和样品体系、�/span>

很长的寿呼�/span>

**技术（**种类：实用新型（具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆）

**号：202020944865 .4）的“爪-球”结构探针杆因其独特的结构设计，是公认皮实耐用的探

针杆、�/span>

很低维护成本

设备配套的针尖制备系统可低成本制备针尖耗材。”爪-球“微动结构已实现模块化量产，维护戏�/span>

本低、�/span>

很大的用户群

在国内拥有近200个高质量原位用户，出口到欧美澳等地。每年，用户会产出大量高质量研究成果

。定期组织各类用户交流活动，搭建学术平台供用户交流、�/span>