PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统，将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描甴�/span>

镜样品台上，在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且可以对实验样品原位加热。该系统允许研究耄�/span>

在气氛环境中原位、动态、高分辨地对样品的形貌结构和化学组分进行综合表征，大大拓展了扫描

电镜的功能与应用领域。该产品可实�? Bar & 800 ℃的观测条件，使研究者可以在扫描电镜中实

时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生�?合成以及各类腐蚀反应，将您的扫描电镜从一�?/span>

静态成像工具升级为一套功能强大的纳米实验室、�/span>

性能指标

气体流动指标９�/span>

� 三通道混气：�/span>

� 气压范围�? - 1 Bar：�/span>

� 气压准确度：30 mBar：�/span>

� 气体流速： 0.01 - 0.4 ml/min：�/span>

� 可通气体：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

� 软件控制、�/span>

扫描电镜指标９�/span>

� 兼容指定类型电镜：�/span>

� 保证电镜原有真空度；

� MEMS反应微腔指标９�/span>

� 高质量氮化硅膜厚�?0 nm：�/span>

� 样品漂移优于0.7 nm/min、�/span>

热学指标９�/span>

� 温度范围：室温至800 ℃；

� 温度准确度：优于5%�?nbsp;

� 温度稳定性：优于±0.1 ℃；

� 四电极加热，带温度反馈；

� 软件控制、�/span>