紧凑型原子层沉积设备，用于基板表面沉积各种薄�?氧化铝，氧化硅等)，满�?-8inch 科研、生产工艺需求、�img src="//www.znpla.com/img1/img/daily/2024/11/16/102634_873622_procont.png" title="102634_873622_procont.png" alt="image.png"/>