等离子体热处理炉为德国生产，具有等离子清洗、表面处理、材料表面修饰、材料热处理的功能、�/p>

仪器特点及基本参数：

1. 具有等离子体清洗、表面修饰、表面处理、表面活化的功能：�/p>

2. 具有真空能力(10-5mbar)：�/p>

3. 芯片倒装凸点(Bump)：�/p>

4. 凸点焊接：�/p>

5. 键合：�/p>

6. 功率器件焊接：�/p>

7. 样品尺寸�?70X200mm，或300x300mm：�/p>

8. 温度�?50摄氏度；

9. 24支红外灯加热：�/p>

10. 2路MFC气路：�/p>