匀胶机，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，英文叫Spin Coater或者Spin Processor。总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关、�/span>

匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺， 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜，并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用、�/span>

由我司提供的匀胶机，在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉，相信能满足您多种不同应用要求、�/span>

产地：韩国ECOPIA公司

型号：SP-6

技术规格：

1. 旋转衬底**尺寸：四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸等：�/span>

2. 按客户需求提供整体解决方案，可以旋涂*�?mm� **1000mm衬底：�/span>

3. 从手动到全自动溶质分配的选择范围宽大：�/span>

4. 无振动转�?*5000RPM：�/span>

5. 真空吸附，无污染：�/span>

6. 台式匀胶机，占用空间小：�/span>

7. 具备耐化学性的无缝聚丙烯外罩，并且匀胶机主机易清洗；

8. 聚四氟乙烯（PTFE）的匀胶机可用于强腐蚀性化学材料；

9.液晶显示屏人机界靡�/strong>，甚至带着手套都可以方便使用；

10.可以准确重复运行程序的数字程序控制系统；

11. 高度灵活的多重可编程步骤组成复合程序：�/span>

12.BLDC马达，高稳定性，无热量散叐�/strong>(优于DC马达)：�/span>

应用范围９�/span>

可用于光刻胶(PR)，聚酰亚�?Polyimide)，金属有机物(Metallo-organics)，搀杂剂(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多数的有机溶液、水溶液：�/span>