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热丝化学气相沉积系统(HWCVD)
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变场磁体Variable Flux Magnet

光反射薄膜厚度测量仪

激光拉曼光谱仪

光谱型椭偏仪Ellipsometer

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技术规格：

- 单腔体或者多腔体(Cluster);

- 衬底尺寸?0cm x 10cm ~ 30cm x 30cm;

- 衬底类型：刚?沉积时振?，柔?Reel - Reel);

- 灯丝类型：石?美国**#6214706 #6427622)，传统灯东

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