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热蒸发镀膜机
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热蒸发镀膜机- 极高性价比!

型号:EasyDEP

产地:韩国原装进叢/p>

仪器特点9/strong>

1/ 沉积材料:金属;

2/ 膜厚均匀性: 5 % (4英寸基底):/p>

3/ 沉积方式:热蒸发舟;

4/ 极限真空?.0 x 10-6Torr:/p>

技术规格:

1/ **样品尺寸?英寸:/p>

2/ 基底旋转?~10rpm:/p>

3/ 不锈钢腔体,ID250 x H300 mm:/p>

4/ 真空泵:机械泵,150L/Min;扩散泵?15L/Sec:/p>

5/ 薄膜厚度监控:石英振荡传感器实时厚度控制:/p>

6/ 厚度精度?.5%:/p>

7/ 热蒸发源?英寸热蒸发舟,交流电源;

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