技术规格：

- 多矩形阴�?

- 射频或直流溅�?RF� DC);

- 基底尺寸�?0cm x 40cm;

- 沉积时衬底振荠�

- 常用于ITO� AZO等膜层的沉积;

- 均匀性：优于5% (沉积TCO或金属薄�?;