仪器特点９�/p>

• 腔体材料：不锈钢，铝，或者Bell Jar：�/p>

• 分子泵：70�?50�?00 l/sec� 一级泵：机械泵或干泵；

• 13.5MHz� 300-600W射频电源�?KW直流电源：�/p>

• QCM在线厚度测量，厚度分辨率<0.1nm：�/p>

• 带有观察窗的门，方便样品取放：�/p>

• Labview软件，PC控制：�/p>

• 多重密码保护：�/p>

• 全安全互锁设计；

选配功能９�/p>

• 向上，向下，侧向溅射：�/p>

• 射频，直流、脉冲直流溅射；

• 共溅射，反应溅射：�/p>

• 组合溅射：�/p>

• 射频、直流偏�?1000V)：�/p>

• 基底加热：不高于700摄氏度；

• 厚度监控：�/p>

• 基底射频等离子清洗；

• Load-Lock，以及自动样品取放；

不同型号选择９�/p>

• NSC系列，立式磁控溅射系统；

• NSC系列，立式紧凑磁控溅射系统；

• NSC系列，台式磁控溅射系统；

• 双腔体系统，NSR系列，磁控溅�?反应离子刻蚀(RIE)：�/p>

• 双腔体系统，NSP系列，磁控溅�?PECVD：�/p>

• 双腔体系统，NST系列，磁控溅�?热蒸发；