磁控溅射镀膜机 - 紧凑，适合科研，极高性价比！

型号：AP-MMS1

产地：韩国原装进叢�/p>

仪器特点９�/strong>

1/ 沉积材料：金属、氧化物等；

2/ 膜厚均匀性：� �� 5 % (4英寸基底)：�/p>

3/ 沉积方式：直流磁控溅射，射频磁控溅射：�/p>

4/ 极限真空�?.0 x 10^-6Torr：�/p>

技术规格：

1/ **样品尺寸�?英寸：�/p>

2/ 基底旋转�?~10rpm：�/p>

3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm：�/p>

4/ 真空泵：机械泵，150L/Min：�/p>

5/ 靶枪�?英寸直径 (选配�?英寸)：�/p>

6/ 直流电源�?KW(800V - 2.5A)：�/p>

7/ 气体传输模块：MFC控制，氩气，100sccm：�/p>