技术规格：

1.面电阻量测范围：1 m��/sq. to 2 M��/sq.(或更髗�/span>)

2.样品尺寸：支�?/span>10mm臲�/span>300mm wafer

3.量测系统包括９�/span>Jandel RM3000测试单元

4.测试精度９�/span>0.05% at 23ℂ�/span>

5.温度可变范围９�/span>-100ℂ�/span>~ 200ℂ�/span>

6.软件操作简单可以支�?/span>with Windows XP� Windows 7戕�/span>Windows 8操作系统＋�/span>USB2.0戕�/span>USB3.0接口

7.可选择量测晶圆三�/span>1� 5� 9� 25� 49� or 121个测试点或者自定义量测国�/span>

8.可绘刵�/span>2D咋�/span>3D数据结果国�/span>

9.输出电阻，电阻率和厚度等量测结果

10.系统支持JANDEL探测头，插入式更换，操作简協�/span>