上海载德半导体技术有限公号/div>
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产品详情
半自?全自动探针台
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技术规格:

1.支持**晶圆尺寸9/span>300mm

2. X-Y轴移动重复性:+/-1.5mm

3. X-Y轴移动分辨率9/span>5mm

4. X-Y轴移动速率9/span>50mm/s

5. Z轴移动重复性:+/-1mm,移动分辨率9/span>1mm

6. Z轴移动速率9/span>10mm/s

7.显微镜分辨率9/span>4mm

8.可测试温度:RT~200ℂ/span>

9.迈锐软件,全自动控制平台移动、/span>

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