美国MicroXact为专业的高品质探针台生产商，迈锐(MicroXact)公司探针台有手动探针台、半自动探针台、低温探针台、三维磁体探针台等。手动探针台的主要型号：SPS-2000 SPS-2200、/p>
技术规格：
技术规栻/span> |
SPS-2000 |
SPS-2200 |
样品尺寸 |
不大亍/span>150mm |
不大亍/span>200mm |
样品?/span>XY移动范围 |
155mmx155mm |
200mmx200mm |
样品?/span>XY移动分辨玆/span> |
5um |
5um |
样品?/span>XY移动轴承 |
精确横轧辉/span> |
精确横轧辉/span> |
台面移动 |
12.7mm |
12.7mm |
台面调整 |
粗调及细调，1.5mm重现?/span> |
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台面平整?/span> |
<12.7um (150mm台面) |
<12.7um (200mm台面) |
台面刚?/span> |
<50um (4.5公斤承重) |
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真空卡盘 |
多区域真空吸陃/span> |
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卡盘平整?/span> |
+/-13um |
+/-13um |
卡盘击穿电压 |
>500V |
>500V |
卡盘绝缘?/span> |
>1GW |
>1GW |
卡盘调节 |
360度粗调，+/-6度细谂/span> |
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显微镛/span> |
高品质立体显微镜，放大倍率９/span>3.5X~180X，工作距离：200mm：/span> 多种高倍显微镜：/span> |
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电学接口 |
BNC Triax or Banana plug |
BNC Triax or Banana plug |
尺寸 |
78cm x 80cm x58cm (W x D x H) |
128cm x 122cm x 92cm (W x D x H) |
重量 |
85kg ~ 95kg |
85kg ~ 100kg |
样品快速装载选件 |
不包?/span> |
包括 |
