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RTP-100-RP快速退火炉(中温/低价?
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液氦液氮低温恒温?开循环)闭循环致冷机、低温恒温器超低振动闭循环致冷机(3~5纳米振动水平)超高真空闭循环致冷机顶端装样方式低温恒温?Top Loading)反应离子刻蚀机RIEHarrick Plasma等离子清洗机离子束刻蚀系统IBE光刻?紫外曝光?Mask Aligner)等离子体热处理炉

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光反射薄膜厚度测量仪

激光拉曼光谱仪

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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备、/span>

RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用，适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品、/span>

仪器特点９/span>

- **工艺温度?50摄氏度；

- 加热区域?00mm x 170mm：/span>

- 高性价比；

参考用户：

中电13所等、/span>

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上海载德半导体技术有限公号/a>官方展台田a href="//www.znpla.com/zdbdt/">中国粉体罐/a>设计制作，工商信息已核实、br /> 公司地址：上海市松花江路251弄白玉兰环保广场7叶br /> https://zdbdt.cnpowder.com.cn/