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英国Cressington高性能离子溅射?/strong>系统是现阶段配套扫描电镜SEM,透射电镜TEM和电子探?*的配套前级样品导电处理系统以及均匀高质量的电极薄膜制备,溢鑫科创Yi Xin Technology是Cressington在中?*官方授权代表,全权负责此产品在国内产品销售,售后服务,市场推广和授权等工作、/span>
Cressington 108 Auto/ ManualSPUTTER COATER
Cressington 108/108Auto离子溅射?/strong>是用于电镜样品前处理,制作电极的***高质量的镀膜仪系统
主要优势功能9/span>
自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和**的导电喷镀效果、/span>
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损、/span>
操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制、/span>
在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果、/span>
可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件?分辨率优?.1nm?99.9nm?999.9nm)
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率?*的镀膜效果、/span>
可使用多种金属靶材:Au Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,靶材更换快速方便、/span>
技术规格:
样品仓尺寸: 120 x 120mm(高 (4.75 x 4.75"),高强度硼硅酸盐玻璃
样品台:直径63mm,可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调芁/span>
溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,**180A,配有过流保
溅射控制:微处理器控制,安全互锁,可调,**电流40mA,程序化数字控制
溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量:真 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器: MTM-10高精度厚度监测器(选配)
控制方式:自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0?00s),自动放气
电源?00-240 VAC 50/60Hz
功率?000VA (包括镀碳机和真空系?
氩气 纯度优于99.9%,压力调?.5-0.6 bar 6mm连接软管
备注9span>为保证销售渠道正规,配套方案先进及统一的市场管理和售后服务,英国cressington在各个国家都只设**授权代理,中国官方授权总代为:溢鑫科创Yi Xin Technology+/span>详细信息请参考英国原厂官方网站信息、/span>
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