新一代镀膜仪-EMS Q150R 型镀膜仪（真空镀膜仪/喷碳�?蒸镀仪）采用**技术研制而成，彩色触摸液晶屏，快速的参数输入，数种碳丝匹配，友好的用户界面，带给你不一般的操作感受�?/span>

提供3个版本的仪器９�/span>

EMS150R S� 喷金�?离子溅射仪（适用于真空喷镀非氧化型金属，如金，铂，钯等（�/p>

EMS150R E� 喷碳�?碳蒸镀仪（适用于真空喷镀碳膜，特别适用于SEM（�/p>

EMS150R ES–真空镀膜仪（离子溅射仪和碳蒸镀仪的结合佒�/span>

Q150R是一款多功能紧凑型机械泵抽真空镀膜系统，对于SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm/6.5”的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品 � 尤其用于在SEM应用中提高成像质量、�/span>

Q150R S

机械泵抽真空离子溅射镀膜仪，适于给样品镀制不氧化金属膜（即贵金属膜），如金、银、铂和钯�

Q150R E

机械泵抽真空蒸发镀碳仪，使用碳丝或碳绳为SEM样品镀膜�

Q150R ES

集Q150R S和Q150R E两者的功能于一体，节省空间。这个双重用途、结构紧凑、机械泵抽真空的镀膜系统标配有溅射插入头和碳丝蒸发插入� � 可提�?***的多用途镀膜�

此外，辉光放电选项也是可用的（仅Q150R S和Q150R ES版本），它可实现样品表面改性（如疏水表面改为亲水表面）�

快速简便：快速、易更换的镀膜插入头，能在同一个紧凑设计中实现金属溅射、碳蒸镀和辉光放电三者之间的快速转换、�/p>

采用全自动触摸屏控制，可快速输入数据。与镀膜处理方法及镀膜材料相适配的镀膜参数方案可通过触摸按键实现预设并储存。自动放气控制功能确保了溅射期间**的真空状态，可提供良好的一致性和可重复性�

易使用：智能识别系统可自动探测安装了何种类型的镀膜插入头，以便立即运行相应的镀膜方案。可存储多个用户自定义的镀膜方� � 这对于需更改镀膜参数实现不同应用的多用户实验室非常理想。多种样品台组件适用于各种尺寸和类型的样品；所有样品台都带有快速、易更换及落入式设计的特点�

功能强大、可重复镀膜及高可靠性：可预编程的镀膜参数及方案能确保一致且可重复的结果。需要沉积厚膜时，本系统提供长达60分钟且无需破真空的溅射时间。设计先进的碳蒸镀插入头操作简单，具有对蒸发电流参数的完全控制，确保了SEM应用中一致的和可重复的碳沉积。可选的膜厚监控附件用于可重复的膜厚控制�

适配性强且用途广：溅射、碳蒸镀、辉光放电插入头及多种可选件，使Q150R对于多用户实验室应用非常理想。可溅射一系列不氧化金属，如金、银、铂和钯。碳丝蒸镀插入头处理样品速度非常快。也可选用碳棒蒸发。还可应用于金属薄膜研究及电极的应用、�/span>

仪器尺寸	585mm(W) x 470mm(D) x 410mm(H)
包装尺寸	725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)
工作腔室	硼硅酸盐玻璃152mm (内直�?x 127mm H
安全钟罩	聚乙烯对苯二酸，柱形
显示屎�/span>	彩色液晶320 x 240
用户界面	直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒�?后十个镀膜方案日志记彔�/span>
重量	28.4Kg
样品�?/span>	直径�?0 mm的旋转样品台，上�?个样品座，可�?5mm� 10mm� 6.5mm或�?.1mm样本座，转速为8-20rpm
真空泴�/span>	Edwards RV3 50L/s两级真空泵，Pirani 真空讠�/span>
极限真空�?/span>	洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气
喷镀真空范围	3 x 10-2 -5 x 10-1mbar
安培讠�/span>	碳绳�?-60 Amps�?.4mm 碳棒�?-90 Amps