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BPL光束笔微影纳米制造系绞/div>
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TERA Fab E系列是首台商业化光束笔光刺/span>(BPL)纳米加工系统仪器使用多达两万支可独立编程笔阵刖/span>每支笔尖都有相同尺寸小孔光阑来进行无掩膜光刻;自定义软件允许研究人员在0.5x0.4平方厘米区域内快速精确拼接不同图彡/span>且特征尺寸分辨率优于200纳米;这个工具可以快速地制作电子和光学器仵/span>制造光刻掩樠/span>以及光化学研穵/span>桌面式操作上手容昒/span>无需无尘宣/span>; 更多应用及产品细节信息TERA中国区官方授权商:溢鑫科创、/span>

典型的应用包括:

*研究单个细胞

*使用DNA、蛋白质、肽或碳水化合物阵列

*微流控或微纳电子功能器件的制夆/span>

*图案化水凝胶

*高定域光化学

*合成和发现用于催化、光子学或治疗学应用的新纳米材料

*其他高密集高分辨的微纳米器件制速/span>

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