Aep Technology探针三维轮廓�?/strong>NanoMap-500LS

接触式三维表面台阶仪

特点

常规皃�/span>探针轮廓�?/strong>和扫描探针显微镜技术的**结合

双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得�?*化的小区域三维测�

针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围�?0��m X 10��m �?00��m X 500��m。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm�

接触式探钇�/span>轮廓�?/strong>在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观�

针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（**�?00��m）及亚纳米级垂直分辨率　�?小０.１nm �

软件设置恒定微力接触

简单的2步关键操作，友好的软件操作界�

应用

三维表面形貌/轮廓�?/strong>主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra，Rq，Rmax...），三维粗糙度（Sa，Sq，Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将台阶仪带入了另一个高精度测量的新时代、�/span>

三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件�

薄膜和厚膜的台阶高度测量

划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量

空间分析和表面纹理表�

平面度和曲率测量

二维薄膜应力测量

微电子表面分析和MEMS表征

表面质量和缺陷检�

环境要求

湿度�?0-80%� 相对湿度，无冷凝

温度�?5-85 华氏度（△T�?�?小时�

电源要求�?10/240V�?0/60 Hz

技术规� 标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证� 100��m

系统 光学照相机视场范� 1.5 X 1.5mm

光学照明 软件控制暗场和亮�

电脑 Pentium IV� USB2.0联接

操作系统 Win XP

系统动力需� 90-240V�?50W

空间尺寸 20’� 宽X 22’’长 X 25’’高

重量 160lb

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