核心参数９�/span>

样品台移动范围：150mm*150mm (可逈�/span>200mm*200mm)

样品尺寸：直徃�/span>�?00mm�厚度�?0mm

定位检测噪声：0.03nm(typical)� 0.05nm(maximum)

产地类别：进口仪�?/span>

世界**精度及强大功胼�/span>Park原子力显微镜产品特�?/span>

Park XE15具备多个特殊功能，是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置，使其成为业内性价�?*的大型样品原子力显微镜、�/span>

MultiSample?（多重采栶�/span>^TM）扫描器带来*便捷样品测量

多样品一次性自动成僎�/span>

特殊设计的多样品夹头�?多可承载16个独立样�?/span>

全自�?/span>XY样品载台，行程范围达200 mm x 200 mm、�/span>

无轴间耦合提高扫描精度

两种独立闭环XY咋�/span>Z平板式扫揎�/span>

平板式和线�?/span>XY扫描可达100��m x 100��m，且残余压弯導�/span>

整个扫描范围内的异面移动小于2nm

强力扫描器达25��m Z扫描范围

精确的高度测野�/span>

Non-Contact?（真正非接触^TM）模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度

兵�/span>Z扫描频宽是压电管基础系统皃�/span>10倌�/span>

非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿呼�/span>

成像分辨率高于同类原子力显微镛�/span>

降低样品干扰，提高扫描精�?/span>

提供**用户体验

开放式侧面接入，提高样品及针尖更换效率

预对准的针尖安装�?***的轴上俯视法可简单直观地实现激光对凅�/span>

燕尾锁封片方便镜头拆卷�/span>

界面带自动设置功能，方便用户使用

多种模式与选项

综合性测量模式及特性设置，是我�?*通用型原子力显微镛�/span>

多种可选配件及更新，扩展性能优越

为缺陷分析提供先进电气测野�/span>

产品特点

100um x 100 um扫描范围皃�/span>XY染�/span>‗�/span>性导向扫描器

XY扫描器含系统二维弯曲及强力压电堆叠，可使极小平面外移动形成较大的正交运动，并能快速响应，实现精确的样品纳米级扫描、�/span>

柔性导向强劚�/span>Z扫描�?/span>

在强力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下，其硬度允许扫描器高速竖直运动，较传统原子力显微镜扫描器更加高速�?*Z型扫描范围搭配远稊�/span>Z扫描器（选配）可延长12��m臲�/span>25��m、�/span>

滑动连接的超亮二极管夳�/span>

通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动，可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的精确成像和劚�/span>-矩光谱的精确测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题，因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品、�/span>

多样品夹夳�/span>

特殊设计的多样品夹头，做多可承载16个独立样品，由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道、�/span>

选配编码器的XY自动样品载台

自动集成XY载台可轻松并精确控制样品的测量位置、�/span>XY样品载台的行程范围可配置丹�/span>150 mm x 150 mm戕�/span>200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器，可提高样品定位的精确度和重复性。编�?/span>XY载台工作时分辨率丹�/span>1 ��m，重复率丹�/span>2 ��m。编�?/span>Z载台的分辨率丹�/span>0.1 ��m，重复率丹�/span>1 ��m、�/span>

高分辨率数码变焦感光元件摄像夳�/span>

高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学，具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量、�/span>

垂直对齐的自�?/span>Z载台及聚焦载�?/span>

Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上，同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的，因此满足透明样品及液态元件应用所需精度、�/span>

弯曲基底解�?/span>XY咋�/span>Z扫描�?/span>

Z扫描器与XY扫描器完全解耦、�/span>XY扫描器在水平面上移动样品，同旵�/span>Z扫描器竖直移动探针、�/span>

此配置以*小异面移动，实现亅�strong>平板弎�/span>XY扫描。此XY扫描同时还具月�strong>高正交性与线�?/span>、�/span>

业内*低本底噪�?/span>

为探�?小样品的特性，帮助*快运动平面成像，Park Systems设计了业冄�/span>0.5A以下�?低本底噪声标准设备。使�?/span>‛�/span>零扫揎�/span>“�/span>探测本地噪声数据、�/span>

真正非接触模式延长针尖使用寿呼�/span>

XE系列原子力显微镜已成功搭�?*强力Z扫描系统独有的真正非接触模式、�/span>真正非接触模式下，使用的是相吸而非相排斥的内部原子劚�/span>、�/span>

真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距，改善了原子力显微镜图像，保持针尖的锐利，因正�strong>有效延长了针尖使用寿呼�/span>、�/span>

预对准悬臂支撐�/span>

预先安装在探针支撑上，因此不需�?strong>严格对齐激光束、�/span>

高分辨率的直接同轴光学元仵�/span>

用户可直接俯视观看样品，操控样品表面，从耋�strong>很容易就能找到目标区域、�/span>高分辨率数码摄像头具备变焦功能，无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量、�/span>

�?/span>DSP控制芯片皃�/span>XE控制电子元件

原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park XE电子元件控制并处理、�/span>Park XE电子元件为低噪声设计，配备高速处理单元，可成功实现真正非接触?模式，是纳米级成像及电压电流精准测量的理想选择、�/span>

600 MHz�?/span>4800 MIPS速度的高性能处理单元

低噪声设计，适合电压电流精准测量

-通用系统，各SPM技术均可得到应�?/span>

外部信号接入模块，存取原子力显微镜输�?/span>/输出信号

*夙�/span>16个数据成僎�/span>

**数据尺寸９�/span>4096 x 4096像素

16佌�/span>ADC/DAC，速度辽�/span>500 kHz

TCP/IP连接，隔离计算机接出电噪